目前废气处理设备新技术电子束法简写为EBA,EBA是目前是国际先进的废气处理设备烟气处理技术之一，其原理是利用高能电子加速器产生的电子束（500-800KEV）辐照处理烟气，将烟气中的SO2和氮氧化物转化硫酸铵和硝酸铵。
eba的反应机理是:利用阴极发射并经电场加速形成5000-800KEV高能电子束，这些电子束辐照烟气时产生辐射化学反应，生产.oh\o.和ho2.等自由基，这些自由基可以和SO2\NOX生成硫酸和硝酸，在通入氨气（NH3）的情况下，产生（NH4）2SO4和NH4NO3铵盐等副产品。
电子束法主要反应过程如下。
1.生产自由基
N2，O2，H2O E→HO·,O·,HO2·,N·
2.氧化
SO2→O3 SO3→H2O H2SO4
SO3→HO?HSO4-→H2O H2SO4
NO→O3 NO2→H2O HNO3
NO→HO2?NO2→H2O HNO3
3.酸与氨反应
H2SO4 2NH3→(NH4)2SO4
HNO3 NH3→NH4NO3
2.能同时脱硫脱硝，并可达到90%以上的脱硫率和80%以上的脱硝滤；
3.系统简单，操作方便，过程易于控制；
4.对于含硫量的变化有较好的适应性和负荷跟踪性；
5.副产品为硫酸铵和硝酸铵混合物，可做化肥；
6.脱硫成本低于常规方法。